Хөдөлгүүрийн даралтын мэдрэгч 2cp3-68 1946725 Картер Expavator-д зориулсан

Дараах алхамуудыг давж, даралт мэдрэгчийг бэлтгэх арга:

S1, арын гадаргуу, урд талын гадаргуутай вафер өгөх; Piezoresistive зурвас үүсгэж, холбоо барих талбайн урд талын гадаргуу дээрх холбоо барих хэсэг; Вафер арын гадаргууг арилгах замаар даралтын гүн хөндий үүсгэх;

S2, ДОТООД ХУДАЛДАН АВАХ ХЭРЭГЛЭЭ;

S3, үйлдвэрлэлийн нүх, металлууд, металлууд нь улаан буудайн чулууг бүрдүүлэх, улаан буудайн чулуун гүүрийг холбодог;

S4, байршуулах, хөндлөнгийн гадаргуу дээр пассивалат давхаргыг үүсгэж, пассив гадаргуу дээр төмөр дэвсгэр дээр нээх хэсэг. 2. ХЯНАЛТЫН 1-р СТ1-ийн дагуу даралтын мэдрэгчийн үйлдвэрлэлийн арга: S11: S11: S11: S11: S11: Буцах, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд гадаргуутай, урд талын өнгөт мэдрэмтгий материалыг өгч, S12: Ион: Ион суулгацыг Waffer, Piezores-ийн урд талын гадаргуу дээр ашигладаг. S13: Хадгалах, барьцааны урд талын гадаргуу дээр хамгаалалтын давхаргыг үүсгэх, бүрдүүлэх; S14: Даралт мэдрэмтгий хальсыг үүсгэхийн тулд ваферийн арын хэсэгт даралт, даралтыг бий болгох. 3. Нэхэмжлэлийн 1-р нэхэмжлэлийн дагуу даралтын мэдрэгчийн арга нь soi soi юм.

1962 онд Түрте нар. Piezoressestive-ийн даралтын даралтыг анх удаа үйлдвэрлэсэн. Пойсорестын даралтыг анх удаа үйлдвэрлэж, судалгааг судалж эхлэв. 1960-аад оны сүүл ба 1970-аад оны эхэн үед, Силикон Анисотрон, Суулгацын технологи, даралт мэдрэгчийн мэдрэгчийг сайжруулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. 1980-аас дээш тусам Анизопропик, дэмийвч, заалт, эвлэрч өөрчлөгдөх, гаралт нь хэтэрхий их үнэлж, гүйцэтгэл маш сайн, гүйцэтгэлтэй юм. Үүний зэрэгцээ, шинэ микромапакап технологийн технологийн технологийн технологийн технологийн технологийн менежмент нь даралтын өтгөрөгчийн зузаантай байдлыг нарийвчлан дагаж мөрддөг.