Картер экскаваторын хөдөлгүүрийн даралт мэдрэгч 2CP3-68 1946725

Даралт мэдрэгчийг бэлтгэх арга нь дараах алхмуудыг агуулна.

S1, арын гадаргуу болон урд талын гадаргуутай ялтсыг хангах; Өргөст хальсны урд гадаргуу дээр пьезорезистор тууз болон их хэмжээний хольцтой холбоо барих хэсгийг бүрдүүлэх; Өрөөний арын гадаргууг сийлбэрлэх замаар даралтын гүн хөндий үүсгэх;

S2, өрмөнцөрийн ар тал дээр тулгуур хуудсыг холбох;

S3, өрмөнцөрийн урд талд хар тугалганы нүх, металл утас үйлдвэрлэж, пьезорезистор туузыг холбож, Wheatstone гүүр үүсгэх;

S4, ялтсуудын урд гадаргуу дээр пассивацийн давхаргыг байрлуулж, үүсгэх ба пассивацийн давхаргын хэсгийг нээж, металл дэвсгэр талбайг үүсгэдэг. 2. 1-р зүйлийн дагуу даралт мэдрэгчийг үйлдвэрлэх арга бөгөөд S1 нь дараах алхмуудыг тусгайлан агуулна: S11: хавтанцарыг арын болон урд гадаргуутай болгож, хавтан дээрх даралт мэдрэмтгий хальсны зузааныг тодорхойлох; S12: ионы суулгацыг өрмөнцөрийн урд гадаргуу дээр ашигладаг, пьезорезистит туузыг өндөр температурт тархах процессоор үйлдвэрлэдэг, контактын хэсгүүдийг их хэмжээгээр шингээдэг; S13: хавтанцарын урд гадаргуу дээр хамгаалалтын давхарга үүсгэх; S14: сийлбэр хийж, вафельний ар талд даралтын гүн хөндий үүсгэж даралт мэдрэмтгий хальс үүсгэнэ. 3. 1-р зүйлд заасны дагуу даралт мэдрэгчийг үйлдвэрлэх арга, үүнд вафель нь SOI.

1962 онд Tufte et al. нь анх удаа тархсан цахиурын пьезорезисттив тууз, цахиурын хальсан бүтэц бүхий пьезорезисттив даралт мэдрэгч үйлдвэрлэж, пьезорезисттив даралтын мэдрэгчийн судалгааг эхлүүлсэн. 1960-аад оны сүүл, 1970-аад оны эхээр цахиурын анизотроп сийлбэрлэх технологи, ион суулгах технологи, анод холбох технологи гэсэн гурван технологи гарч ирснээр даралт мэдрэгчийн үйл ажиллагааг сайжруулахад чухал үүрэг гүйцэтгэсэн даралт мэдрэгчэд томоохон өөрчлөлт гарсан. . 1980-аад оноос хойш анизотроп сийлбэр, литографи, диффузийн допинг, ион суулгац, холбох, бүрэх зэрэг бичил боловсруулалтын технологийг цаашид хөгжүүлснээр даралт мэдрэгчийн хэмжээ тасралтгүй буурч, мэдрэмж сайжирч, гаралт өндөр байна. гүйцэтгэл маш сайн. Үүний зэрэгцээ бичил боловсруулалтын шинэ технологийг боловсруулж, ашиглах нь даралт мэдрэгчийн хальсны зузааныг нарийн хянах боломжийг олгодог.