Passat Sapy Rescock Toy Rest Resy Recover Recked Reply Senstor 06E906051K

1. Даралт мэдрэгч үүсэх арга:

Хагас дамжуулагч субстратыг өгөх, анхны интервекентрийн диэллүүлэгчийн давхаргад, эхний интериллерийн давхаргад, хоёр дахь хоорондын Diellayer Duilectuctror-ийг хагас дамжуулагчийн субстрат үүсгэдэг.

Эхний интервейл Диэлектрийн давхаргын хавтан, доод давхаргад, доод давхаргын хавтан, зайтай анхны давхар электрод.

Давхаргыг холбох;

Доод туйлшны хавтангаас дээш тахил өргөх давхаргыг бүрдүүлэх;

Эхний интервейлчин Диэлектийн давхаргын дээд давхаргыг үүсгэж, анхны интервекциональ давхарга ба золиослох давхарга;

Золиослолын давхаргыг бүрдүүлсний дараа дээд хавтанг бүрдүүлсний дараа эхний холболтын эхний давхарга

Холболтын ховилыг бүрдүүлж, холболтын ховилыг дээд хавтангаар дүүргэж, эхний платонатын эхний хавтангаар дүүргэж, Эсвэл

Дээд электрод хавтанг бүрдүүлсний дараа ховилыг холбосны дараа ховилын дээд хавтангууд ба

Дээд электрод хавтанг холбосон дамжуулагч давхаргыг бүрдүүлэх, холболтын ховил дахь анхны холболтын давхарга;

Дээд хавтанг болон хамгийн түрүүнд холболтын давхаргыг цахилгаантгасны дараа

2. Нэхэмжлэлийн 1-ийг 1-р дүгнэлтээр даралтын мэдрэгч үүсгэх арга

Interlayer Diellectric Luger дээр тахилын давхаргыг үүсгэх арга нь дараахь алхамуудаас бүрдэнэ.

Эхний интервейлер Диэлектрик давхарга дээр золиосолсон материаллаг давхаргыг хадгаламж олгох;

Золиослолын давхаргыг бий болгохын тулд золиосолсон материаллаг материалыг хий.

3. Нэхэмжлэлийн 2-р мэдрэгчийг үүсгэх арга нь 2-р нэхэмжлэлийг бүрдүүлэх арга, фоточлол, сийлбэрийг ашигладаг.

Золиослох материалын давхаргыг etching процессоор хээтгэдэг.

4. Тахилгааны 3-р дагуу даралтын мэдрэгчийн дагуу даралт мэдрэгч үүсэх арга

Материал нь аморф нүүрстөрөгч эсвэл Герман юм.

5. Нэхэмжлэлийг 4-р нэхэмжлэл гаргахын дагуу даралт мэдрэгч үүсгэх арга

Материал нь аморфын нүүрстөрөгч;

Мисс хийх материалыг evegize материалын давхаргад ашигласан хий нь O2, CO, N2 ба AR;

Мисс хийх материалын давхаргын параметрүүд нь: O2-ийн урсгалын хүрээ нь 18 sccm ~ 22 sccm, CO-ийн урсгалын хэмжээ 10% юм.

Урсгалын хувь нь 90 SCCM-ээс 110 SCCM-ээс 110 SCCM-ээс 110 SCCM-ээс 110 SCCM-ээс 110 SCCM, AR-ийн урсгалын хурдны хувь.

Хүрээ нь 90 sccm ~ 110 sccm, даралтын хүрээ бөгөөд даралтын хүрээ нь 90 MTOR ~ 110 MTOR, ХУВЬЦАА, БАРИЛГО

540W ~ 660W.