Passat түлшний нийтлэг төмөр замын даралт мэдрэгч 06E906051K-д хамаарна

1. Даралт мэдрэгчийг бүрдүүлэх арга, үүнд:

Хагас дамжуулагч субстрат дээр эхний давхаргын диэлектрик давхарга, эхний давхарга хоорондын диэлектрик давхарга, хоёр дахь давхаргын диэлектрик давхарга үүсдэг.

Эхний давхаргын диэлектрик давхарга дахь доод электродын хавтан, доод электродын хавтантай нэг давхарга дээр байрладаг, хоорондоо зайтай байрладаг анхны харилцан электрод.

Холбох давхаргууд;

Доод туйлын хавтангаас дээш тахилын давхарга үүсгэх;

Эхний давхаргын диэлектрик давхарга, харилцан холболтын эхний давхарга, тахилын давхарга дээр дээд электродын хавтанг бүрдүүлэх;

Тахилын давхаргыг үүсгэсний дараа дээд хавтанг үүсгэхээс өмнө эхний харилцан холболтын давхаргад

Холболтын ховил үүсгэх, холболтын ховилыг дээд хавтангаар дүүргэх, эхний холболтын давхаргатай цахилгаанаар холбох; Эсвэл,

Дээд электродын хавтанг үүсгэсний дараа электродын дээд хавтан болон эхний харилцан холболтын давхаргад холбогч ховил үүсдэг.

Холболтын ховил дахь электродын дээд хавтан ба эхний харилцан холболтын давхаргыг холбосон дамжуулагч давхарга үүсгэх;

Дээд хавтан ба эхний харилцан холболтын давхаргыг цахилгаанаар холбосны дараа тахилын давхаргыг зайлуулж, хөндий үүсгэнэ.

2. 1-р зүйлд заасны дагуу даралт мэдрэгчийг үүсгэх арга бөгөөд эхний давхаргад

Давхарга хоорондын диэлектрик давхарга дээр тахилын давхаргыг бүрдүүлэх арга нь дараах алхмуудыг агуулна.

Эхний давхаргын диэлектрик давхарга дээр тахилын материалын давхаргыг буулгах;

Тахилын материалын давхаргыг хэв маягаар засаж, тахилын давхарга үүсгэх.

3. 2-р зүйлд заасны дагуу даралт мэдрэгчийг бүрдүүлэх арга, үүнд фотолитографи болон сийлбэрийг ашигладаг.

Тахилын материалын давхаргыг сийлбэрийн аргаар зурдаг.

4. 3-р зүйлийн дагуу даралт мэдрэгчийг бүрдүүлэх арга, үүнд тахилын давхарга

Материал нь аморф нүүрстөрөгч эсвэл германи юм.

5. 4-р зүйлийн дагуу даралт мэдрэгчийг бүрдүүлэх арга, үүнд тахилын давхарга

Материал нь аморф нүүрстөрөгч;

Тахилгын материалын давхаргыг сийлбэрлэх явцад ашигладаг сийлбэр хийд O2, CO, N2, Ar;

Тахилгын материалын давхаргыг сийлбэрлэх үйл явцын параметрүүд нь: O2-ийн урсгалын хүрээ 18 SCCM ~ 22 SCCM, CO-ийн урсгалын хурд 10% байна.

Урсгалын хурд нь 90 SCCM-ээс 110 SCCM, N2-ийн урсгалын хурд нь 90 SCCM-ээс 110 SCCM, Ar-ийн урсгалын хурд.

Хүрээ нь 90 SCCM ~ 110 SCCM, даралтын хүрээ 90 мтор ~ 110 мтор, хэвийсэн хүч нь

540w～660w.