Пьезорезитив мэдрэгчийн бүтэц

Энэ мэдрэгч дээр резистор туузыг монокристалл цахиурын диафрагм дээр нэгтгэх замаар цахиурын пьезорезисттив чип хийх ба энэ чипийн захыг бүрхүүлд тогтмол савлаж, электродын утсыг гадагш гаргадаг. Хатуу төлөвт даралтын мэдрэгч гэгддэг пьезорезистив даралтын мэдрэгч нь уян харимхай элементүүдээр дамжуулан гадны хүчийг шууд бусаар мэдрэх шаардлагатай боловч цахиурын диафрагмаар хэмжсэн даралтыг шууд мэдэрдэг наалдамхай омог хэмжигчээс ялгаатай.

Цахиурын диафрагмын нэг тал нь хэмжсэн даралттай холбогддог өндөр даралтын хөндий, нөгөө тал нь агаар мандалтай холбогддог нам даралтын хөндий юм. Ерөнхийдөө цахиурын диафрагм нь тогтмол захтай тойрог хэлбэрээр бүтээгдсэн бөгөөд диаметр, зузаанын харьцаа нь ойролцоогоор 20 ~ 60 байна. Дөрвөн P хольцыг эсэргүүцэх тууз нь дугуй цахиурын диафрагм дээр тархаж, бүрэн гүүр болгон холбосон байдаг. шахалтын хүчдэлийн бүсэд, нөгөө хоёр нь диафрагмын төвтэй харьцуулахад тэгш хэмтэй суналтын хүчдэлийн бүсэд байна.

Үүнээс гадна дөрвөлжин цахиурын диафрагм, цахиур багана мэдрэгч байдаг. Цахиур цилиндр мэдрэгч нь мөн цахиур цилиндрийн болор хавтгайн тодорхой чиглэлд тархах замаар эсэргүүцэлтэй туузаар хийгдсэн бөгөөд суналтын даралтыг эсэргүүцэх хоёр тууз, шахалтын даралтыг эсэргүүцэх хоёр тууз нь бүрэн гүүрийг үүсгэдэг.

Пьезорезистив мэдрэгч нь хагас дамжуулагч материалын пьезорезистив нөлөөний дагуу хагас дамжуулагч материалын субстрат дээр тархах эсэргүүцлээр хийгдсэн төхөөрөмж юм. Түүний субстратыг хэмжих мэдрэгч болгон шууд ашиглаж болох ба тархалтын эсэргүүцлийг субстрат дээр гүүр хэлбэрээр холбодог.

Гадны хүчний нөлөөгөөр субстрат деформацид ороход эсэргүүцлийн утгууд өөрчлөгдөж, гүүр нь тохирох тэнцвэргүй гаралтыг бий болгоно. Пьезорезистор мэдрэгч болгон ашигладаг субстратууд (эсвэл диафрагмууд) нь голчлон цахиур хавтан ба германий хавтан юм. Мэдрэмтгий материал болох цахиур хавтанцараар хийсэн цахиурын пьезорезисттив мэдрэгч нь олны анхаарлыг ихэд татсаар байгаа бөгөөд ялангуяа даралт, хурдыг хэмжих хатуу төлөвт пьезорезисттив мэдрэгч нь хамгийн өргөн хэрэглэгддэг.